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正確選擇高純氬是硅晶體生產中的一個難題

發表時間:2023-09-27 15:15

氬氣是一種工業上廣泛使用的稀有氣體。它本質上是非常惰性的,既不能燃燒也不能忍受燃燒。在飛機制造業、造船業、原子能工業和機械工業等部門,氬氣經常被用作焊接鋁、鎂、銅及其合金和不銹鋼等特殊金屬的保護氣體,以防止焊縫空氣氧化或氮化。

高純度氬主要用于焊接、不銹鋼制造和冶煉,以及半導體制造過程中的化學氣相沉積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢、離子注入、電流載體和燒結。氬氣被用作生產單晶硅和多晶硅的保護氣體。為了提高硅晶體的質量,如何選擇高純氬是硅晶體生產中的一個問題。通過使用該裝置,當氬氣純度小于1ppm,含水量小于1ppm時,所生產的單晶硅的氧、碳含量小于0.5ppm,提高了單晶硅的使用壽命,滿足了要求,贏得了客戶的滿意和市場需求。

由于普通液態氬蒸發后不純化,其含氧量一般為2ppm ~ 5ppm。有時,天然氣供應商提供的氬氣超出了這一范圍,但使用氬氣的客戶不知道氬氣的質量,這往往會影響所生產產品的質量。對于氬氣凈化裝置,無論氬氣原料氣的質量如何,只要經過凈化裝置處理,進入結晶牽引爐的氬氣純度保持不變。一般來說,氧氣<0.2ppm,水分<1ppm,因此穩定的氬氣可確保晶體生產的質量。



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